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工程案例

Engineering case

西安交通大学科技创新港18号楼分析测试中心实验室工程

工程案例

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西安交通大学分析测试中心真空互联实验与测试平台实验室,实验平台为万级洁净室 ,规划分两期建设投入设备,总投资超过1亿,目前已完成一期建设,是目前国内高校规模最大、功能最齐全的真空互联平台之一。

实验平台特点:

1.技术先进--达到超真空环境

该真空互联平台可达到超高真空环境10-8Pa,可较长时间维持材料表面的原子级清洁环境,避免样品的表面玷污和氧化。

2.应用面广泛--涉及多个专业领域

 适用于半导体、薄膜材料、微纳光学、光电器件、高温超导、能源与催化、储能材料与器件等诸多领域的科学研究与技术开发,并配备各院系教授组成技术团队。

3.仪器组成丰富--可解决多个专业研究困难

 平台由X射线光电子能谱仪、紫外光电子能谱仪、飞行时间二次离子质谱仪、反光电子能谱仪组成。涉及材料性能、结构表征,有机、无机薄膜制备,可满足各专业研究需求。

4.巨额投资--国内规模最大

 该平台总投资超过1亿,是目前国内高校规模最大、功能最齐全的真空互联平台之一。